超高精度三坐标测量机 LEGEX 匠

所属分类：三坐标

产品参数

LEGEX匠在原有机型的基础上，为了传承卓越的技能，引入了”匠人制度”，对加工工艺进行不

断改进和完善，力求极致和完美。

·超高精度:长度测量误差(MPP-310Q):E0,MPE=0.23+0.7L/1000 (um)

·高移动精度:采用固定桥式工作台移动结构，X轴和Y轴在移动时互不产生影响。采用完全重

心驱动方式，加减速时几乎没有变形。

高刚性:通过采用主体基座球墨铸铁的封闭式结构和Y轴导轨和基座一体化结构，实现了高刚

性和振动衰减性。

全方位振动对策:外部振动对策--标配了专用的高性能带有自动调水平功能的”空气阻尼弹簧减震器”。内部振动对策--采用特殊的浮动机构以链接滚珠丝杠与导向块，吸收丝杠旋转的锥形运动和轴垂直面的振动。

·超高精度测长单元:采用高性能超高精度测长单元，同时光栅尺采用为独特的固定方式，能有

产品简介

应用领域

主要服务于精密汽车零部件、半导体设备、医疗植入物/器械、航空关键件及高精度模具的检测与质量控制。

产品详情

精密模具：各类高精度模具，如光学透镜模具、齿轮模具等。可精确评定模腔的坐标、直径、圆度及轮廓度，并与3D CAD进行色差比对。

精密传动与机械元件：齿轮、轴承、滚子等，以及高精度机床的关键零部件。

光学与半导体部件：光学镜头/镜片、半导体制造装置中的精密零件。

基准与计量器具：作为基准量规（Master Gauge）或质量控制部门的验证机，用于校准和传递精度。

工件的共同特点

这类工件普遍具有微米甚至亚微米级的公差带，且几何特征复杂（如自由曲面、微小孔位），对测量设备的直线度、重复性和探针扫描能力要求极高。LEGEX「匠」正是为满足这类“极限精度”场景下的品质管理而设计。

产品资料

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